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PI Hera壓電陶瓷線性精密定位器 行程為50至1800微米 分辨率達(dá)0.1納米 線性誤差 0.02 % X、XY、Z版本；可提供XYZ組合 真空兼容版本達(dá)10-9百帕

PI-P-629.1壓電陶瓷線性精密定位器 應(yīng)用領(lǐng)域 ? 干涉測量 ? 顯微鏡 ? 納米定位 ? 生物技術(shù) ? 測試應(yīng)用 ? 半導(dǎo)體技術(shù) ? 光子 ? 光纖定位

PI-P-620.1壓電陶瓷線性精密定位器 行程為50至1800微米 ? 分辨率達(dá)0.1納米 ? 線性誤差 0.02 %

PI-P-611.1線性壓電陶瓷定位系統(tǒng) 緊湊型設(shè)計：表面為44×44毫米 行程120微米 分辨率達(dá)0.2納米

PI-P-915KWEF壓電六足位移臺 負(fù)載能力高達(dá)1500克 小位移為1納米/0.07微弧度 行程范圍達(dá)70微米